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抛光液是一种颗粒散布匀散的胶体,可使硅片表表产生一层氧化膜,再由抛光液中磨粒将其去除,达到抛光主张。通常抛光液的流快、粘度、温度、成分、pH值等城市对去除成效有影响。
关键词: 资料抛光液集成电路
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